Magetron Sputtering Machine
-
Μηχανή επίστρωσης λεπτής μεμβράνης μαγνητρόν κενού
Η τεχνική επιμετάλλωσης κενού μαγνητρονίου είναι η χρήση της γυναικείας, διπολικής επιφάνειας ηλεκτροδίου με το μαγνητικό πεδίο του ηλεκτρονίου στην επιφανειακή μετατόπιση της καθόδου, με τη ρύθμιση του ηλεκτρικού πεδίου της επιφάνειας στόχου κάθετα στο μαγνητικό πεδίο, το ηλεκτρόνιο αυξάνει τη διαδρομή, αυξάνει τον ρυθμό ιονισμού του αερίου, ενώ τα υψηλής ενέργειας σωματίδια αέρια και χάνουν ενέργεια μετά τη σύγκρουση και έτσι χαμηλότερη θερμοκρασία υποστρώματος, πλήρης επίστρωση σε ένα μη ανθεκτικό στη θερμοκρασία υλικό.
-
Σύστημα ψεκασμού μαγνητρονίων εναπόθεσης κενού
Το σύστημα ψεκασμού μαγνητρόν εναπόθεσης κενού είναι ένα είδος εξοπλισμού κενού που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την εφαρμογή στρώσεων επίστρωσης λεπτής μεμβράνης σε διαφορετική πρώτη ύλη με μεταλλικές ή λειτουργικές επικαλύψεις.
-
Μηχάνημα επικάλυψης Magnetron για πλαστικά μαχαιροπίρουνα μιας χρήσης
Η εκτόξευση μαγνητρονίων είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη τεχνολογία εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης επί του παρόντος.Με τη συνεχή ανάπτυξη της τεχνολογίας sputtering και την εξερεύνηση νέων λειτουργικών μεμβρανών, η εφαρμογή του magnetron sputtering έχει επεκταθεί σε πολλά πεδία παραγωγής και επιστημονικής έρευνας.Ως τεχνολογία μη θερμικής επίστρωσης στον τομέα της μικροηλεκτρονικής, χρησιμοποιείται κυρίως στη χημική εναπόθεση ατμών (CVD) ή στην εναπόθεση μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD) για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών υλικών που είναι δύσκολο να αναπτυχθούν και είναι ακατάλληλα και μπορούν να ληφθούν πολύ ομοιόμορφες λεπτές μεμβράνες σε μεγάλες επιφάνειες.
