Inline Sputtering System
-
Σύστημα ενσωματωμένης διασκορπισμού μαγνητρονίων
Το σύστημα Inline Magnetron Sputtering είναι ένα είδος εξοπλισμού εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης κενού που λειτουργεί για διαφορετικούς σκοπούς.Οι πιο κοινές εφαρμογές της γραμμής sputtering μας περιλαμβάνουν:
Κατασκευή καθρεφτών αλουμινίου
- Επικάλυψη γυαλιού ITO
- Αντιανακλαστικό γυαλί
- Διακοσμητικές επιστρώσεις για ανοξείδωτο ατσάλι και γυαλί
Αυτό το σύστημα επίστρωσης είναι κατάλληλο για εφαρμογές επίστρωσης κενού υψηλής ποιότητας.Παράγει σταθερή απόδοση εργασίας για τη βελτίωση της ποιότητας των μεμβρανών επίστρωσης κενού.
-
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line
Η γραμμή επικάλυψης ITO Glass Magnetron Sputtering υιοθετεί την τεχνολογία κενού διασκορπισμού με μαγνήτρον και την τεχνολογία αστάθειας διασκορπισμού μαγνητρόν για την επίστρωση υαλοπινάκων επίπλευσης υψηλής ποιότητας με στρώμα SO2/ITO.Βασισμένο σε διεθνές προηγμένο σύστημα ελέγχου.Η όλη διαδικασία παραγωγής λειτουργεί αυτόματα και συνεχώς.
-
Αλουμινένιος καθρέφτης Inline Magnetron Sputtering Line
Το Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line έχει σχεδιαστεί για υψηλή απόδοση κατασκευής καθρέφτη γυαλιού.Για να επικαλύψουμε μεγαλύτερο γυαλί και να φροντίσουμε το εύθραυστο γυάλινο πάνελ, ειδικά για τα φύλλα μεγάλου μεγέθους, συνήθως φτιάχνουμε οριζόντια γραμμή ψεκασμού.Είναι μια συνεχής γραμμή επίστρωσης μαγνητρόν, με τον μπροστινό και τον πίσω θάλαμο τραχιάς άντλησης, και μετά τον θάλαμο μετάβασης, πριν και μετά τον θάλαμο λεπτής άντλησης, έναν θάλαμο αποθήκευσης, θάλαμο έγχρωμης επένδυσης.
Στόχος δ: κυλινδρικές κάθοδοι ή/και επίπεδες κάθοδοι μαγνητρονίων.
Πηγή τροφοδοσίας: τροφοδοτικό με υψηλής ισχύος DC ή MF μάγνητρο sputtering
Σύστημα μετάδοσης κίνησης: κίνηση με ρολό, ρυθμιζόμενη συχνότητα, σύστημα ανοίγματος πόρτας δωματίου επαγωγικού τύπου.
Σύστημα κενού: αντλία διάχυσης (ή στροβιλομοριακή αντλία) + αντλία ριζών + μηχανική αντλία
