Αλουμινένιος καθρέφτης Inline Magnetron Sputtering Line
Κύρια χαρακτηριστικά
- Το Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line συνήθως συνοδεύεται από πολλαπλούς θαλάμους κενού για την ολοκλήρωση της επίστρωσης κενού σε γυάλινα φύλλα.
- Κύρια χαρακτηριστικά:
- 1. Μέγεθος επίστρωσης Max.glass:2440x3660mm ή προσαρμοσμένο
- 2. Διατίθενται θάλαμοι πολλαπλών κενού και σχεδιασμός θαλάμου πολλαπλών επιμετάλλωσης
- 3. Η οριζόντια μαγνητική γραμμή ελέγχου έχει δομή μονής και διπλής άκρης.Ο διπλός καθαρισμός γυαλιού, η επίστρωση, η ανίχνευση, η βαφή, η ξήρανση, η ψύξη μπορούν να ολοκληρωθούν ταυτόχρονα
- 4. Η γραμμή επίστρωσης με ψεκασμό χρησιμοποιεί PLC για έλεγχο ολόκληρης της διαδικασίας και είναι εξοπλισμένη με έγχρωμη οθόνη για να εμφανίζει τα δεδομένα της διαδικασίας επίστρωσης
Στρώμα επιστρώσεων: τιτάνιο, χρώμιο, ανοξείδωτο ατσάλι, αλουμίνιο, ασήμι, χαλκός κ.λπ.
- Ένωση: TiN, TiO2, κ.λπ.
- Πάχος στρώσης: 5-100nm
- Μετάδοση: 8-40% σε μήκη κύματος 380-780 nm
- Θερμοκρασία εναπόθεσης: θερμοκρασία δωματίου
- Τελική πίεση μετά από άντληση 8 ωρών:
- Θάλαμος κλειδώματος εισόδου & θάλαμος κλειδώματος κενού: 5×10-1 Pa ή μικρότερη
- Buffer Chamber 1: 3×10-3 Pa ή μικρότερη
- Θάλαμος κατάδυσης: 2×10-3 Pa ή μικρότερη
- Buffer Chamber 2: 3×10-3 Pa ή μικρότερη
- Θάλαμος κλειδώματος εξόδου & θάλαμος κλειδώματος κενού: 5×10-1 Pa ή μικρότερη
Γράψτε το μήνυμά σας εδώ και στείλτε το σε εμάς
