, Custom Inline Magnetron Sputtering system Εργοστάσιο και προμηθευτής |Hondson

Σύστημα ενσωματωμένης διασκορπισμού μαγνητρονίων

Σύντομη περιγραφή:

Το σύστημα Inline Magnetron Sputtering είναι ένα είδος εξοπλισμού εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης κενού που λειτουργεί για διαφορετικούς σκοπούς.Οι πιο κοινές εφαρμογές της γραμμής sputtering μας περιλαμβάνουν:

Κατασκευή καθρεφτών αλουμινίου

  1. Επικάλυψη γυαλιού ITO
  2. Αντιανακλαστικό γυαλί
  3. Διακοσμητικές επιστρώσεις για ανοξείδωτο ατσάλι και γυαλί

 

Αυτό το σύστημα επίστρωσης είναι κατάλληλο για εφαρμογές επίστρωσης κενού υψηλής ποιότητας.Παράγει σταθερή απόδοση εργασίας για τη βελτίωση της ποιότητας των μεμβρανών επίστρωσης κενού.


Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

55 125

Η ενσωματωμένη μηχανή επίστρωσης με διασκορπισμό magnetron είναι κυρίως DC (ή MF) η επίστρωση με ψεκασμό magnetron μπορεί να προσαρμοστεί σε ένα ευρύ φάσμα στόχων, όπως: χαλκός, τιτάνιο, χρώμιο, ανοξείδωτο χάλυβα, νικέλιο και άλλα μεταλλικά υλικά που μπορούν να επικαλυφθούν χρησιμοποιώντας μια διαδικασία ψεκασμού μπορεί να βελτιώσει την πρόσφυση του φιλμ, την αναπαραγωγιμότητα, την πυκνότητα, την ομοιομορφία και άλλα χαρακτηριστικά.

  • ένα.Τα βασικά χαρακτηριστικά και οι παράμετροι
  • σι.δομή οριζόντιας γραμμής μπορεί να πραγματοποιηθεί ταυτόχρονα επικαλυμμένη στη μία πλευρά
  • ντο.αποδοτικότητα παραγωγής, οι πιο γρήγορες ταχύτητες έως και 1 λεπτό / ρυθμό
  • ρε.αρθρωτός σχεδιασμός, εύκολη συντήρηση
  • μι.ωριμότητα διαδικασίας επιμετάλλωσης, υψηλή απόδοση
  • φά.Οι κάθοδοι διασκορπισμού μαγνητρονίου συνεχούς ρεύματος μπορεί να διαφέρουν ανάλογα με τις απαιτήσεις του πελάτη
  • σολ.το σύστημα κενού αποτελείται από μια μηχανική αντλία, αντλίες Roots, αντλίες διάχυσης (μοριακή αντλία) Σύνθεση
  • η.Το μέγεθος του αμαξώματος της γραμμής μπορεί να διαφέρει ανάλογα με τις απαιτήσεις του πελάτη
  • 1) Τα υλικά του σώματος του θαλάμου κενού που χρησιμοποιούνται SUS304, γυαλίζοντας μια επεξεργασία τοίχου θαλάμου κενού, την επεξεργασία σφαιριδίων στίλβωσης με σπρέι εξωτερικού τοίχου.
  • 2) Χρησιμοποιώντας μια ανεξάρτητη βαλβίδα πύλης μεταξύ του θαλάμου κενού - η βαλβίδα πτερυγίου χωριστά, μπορεί να αποκόψει αποτελεσματικά, να σταθεροποιήσει το αέριο διεργασίας.Επί του παρόντος, η εταιρεία μας υιοθετεί το σχέδιο βαλβίδας πτερυγίου, σφραγίζει καλύτερα, πιο ανθεκτικό από την τρέχουσα οικιακή κοινή βαλβίδα πτερυγίου.
  • 3) Η μετάδοση χρησιμοποιεί μαγνητικό οδηγό, προστατεύει τη σταθερότητα της μονάδας.Για κάθε ταχύτητα ολόκληρης της γραμμής παραγωγής που χρησιμοποιεί κινητήρα VVVF, η ταχύτητα λειτουργίας μπορεί να ρυθμιστεί.
  • 4) Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου: Οθόνη αφής και αυτόματος έλεγχος PLC, διάλογος ανθρώπου-μηχανής για την επίτευξη του συστήματος εμφάνισης δεδομένων, παραμέτρων λειτουργίας και τεχνολογία ελέγχου
  • 1) Τελική πίεση κενού: 6 × 1 0E-4 Pa
  • 2) ο μέσος κύκλος παραγωγής: σύμφωνα με το προϊόν που προσδιορίζεται
  • 3) Μέγεθος συγκράτησης υποστρώματος: μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του
  • 4) Ομοιομορφία φιλμ: ± 3% η προηγμένη τεχνολογία κινητού πεδίου έχει βελτιώσει σημαντικά τη χρήση του στόχου
  • Ο τμηματικός σχεδιασμός του θερμαντήρα συμβάλλει στη βελτιστοποίηση της διαδικασίας.
DSCN4652

  • Προηγούμενος:
  • Επόμενο:

  • Γράψτε το μήνυμά σας εδώ και στείλτε το σε εμάς