,
-Μία/Δύο Πόρτες
Το πλαίσιο και ο θάλαμος είναι κατασκευασμένα από ανοξείδωτο χάλυβα.
Κάθε πόρτα παρέχει ένα παράθυρο επιθεώρησης για τον οπτικό έλεγχο της διαδικασίας.Τα τοιχώματα της πόρτας παρέχουν μια επένδυση από ανοξείδωτο χάλυβα που αφαιρείται εύκολα για συντήρηση.
-Προσαρμοσμένος θάλαμος κενού
Ο θάλαμος παρέχει εσωτερικές επενδύσεις από ανοξείδωτο χάλυβα που αφαιρούνται εύκολα για καθαρισμό.
Οι αντλίες στέκονται στο πίσω μέρος του.
Ο θάλαμος έχει μια σειρά από μικρές φλάντζες για το σκοπό της μέτρησης.
- Σύστημα άντλησης υψηλού κενού
Αντλία διάχυσης + Ενισχυτική αντλία + Μηχανική αντλία
-Μέτρηση και έλεγχος κενού
Με μεταλλικό μετρητή Pirani+Μανόμετρο ιονισμού μετάλλου
-Κινούμενο σύστημα φωτιστικών
-Μονάδα ελέγχου PLC
-Σύστημα εξάτμισης αλουμινίου με μετασχηματιστή υψηλής ισχύος
-Σιδερένιο πλαίσιο
Η δομή είναι λογική
Το στρώμα μεμβράνης είναι ομοιόμορφο
Ποιότητα σχηματισμού φιλμ
Υψηλή ταχύτητα άντλησης, σύντομος κύκλος εργασίας και υψηλή απόδοση παραγωγής
Η λειτουργία είναι βολική
Χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και σταθερή απόδοση
Αριθμός μοντέλου | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Διατίθεται μοντέλο με δύο πόρτες ή δύο θαλάμους | |
Διάσταση θαλάμου κενού (διάμετρος*ύψος) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Υλικό του θαλάμου κενού | Ανθρακούχο χάλυβα, SUS304 ή SUS316L | ||||||
Τεχνολογία εργασίας | εξάτμιση αντίστασης στο κενό με νήματα βολφραμίου & αλουμινίου, μετασχηματιστής εξάτμισης υψηλής ισχύος | ||||||
Σύστημα άντλησης | Αντλία διάχυσης + μηχανικές αντλίες, ενισχυτική αντλία | ||||||
Χρόνος άντλησης | Από ατμόσφαιρα σε 5,0*10-2Pa λιγότερο από 8 λεπτά | ||||||
Όριο κενού | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Θερμοκρασία εργασίας | Θερμοκρασία δωματίου | ||||||
Λειτουργία λειτουργίας | Αυτόματη ή Χειροκίνητη λειτουργία, με οθόνη αφής PLC 10,4 ιντσών | ||||||
Συνολική δύναμη | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Ιχνος | 2*2 μέτρα | 2*3 μέτρα | 3*3 μέτρα | 3*3 μέτρα | 3*4 μέτρα | 4*5 μέτρα | 5*6 μέτρα |
Αυτές οι μονάδες μπορείτε να τις κατασκευάσετε κατά παραγγελία | 1. Μέγεθος θαλάμου κενού 2. Διαμορφώσεις αντλιών | ||||||
Προαιρετικά όργανα | 1. Ανιχνευτής διαρροών 3. Σύστημα εναπόθεσης ιόντων τόξου 4. Σύστημα sputtering Magntron |